Miniature vakuumpumper er pumper, der bruger gas som det primære arbejdsmedium. De er velegnede til-lang tomgang og tør drift og skaber et vakuum (negativt tryk) ved at drive en membran til at udføre gassugning og udledning gennem en motordrevet-frem- og tilbagegående bevægelse. Disse enheder har både suge- og udstødningsdyser. Specialiserede modeller omfatter dobbelte-suge-/ekspansions- og vand-/gasmodeller for at tilpasse sig forskellige driftsforhold.
Kernekomponenter omfatter membranpumpen og vakuumregulatoren. Et typisk produkt er Busch RA0020F (pumpehastighed 20 m³/h, sluttryk 0,1 mbar). Teknologisk udvikling fokuserer på miniaturisering, energieffektivitet og intelligens, inkorporerer magnetisk levitationsteknologi,-oliefri smøreteknologi og miljøvenligt design. Vigtige anvendelser omfatter medicinsk udstyr (sugeudstyr, ventilatorer), miljøovervågning, halvlederfremstilling og den nye energiindustri. Størrelsen på hjemmemarkedet forventedes at nå 5 milliarder yuan i 2024.