Miniature vakuumpumper, ofte kaldet små vakuumpumper på grund af deres lille størrelse, er defineret som følger: en miniature vakuumpumpe har et indløb og et udløb, der er i stand til kontinuerligt at skabe et vakuum eller undertryk ved indløbet og et let positivt tryk ved udløbet; arbejdsmediet er primært gas, og det er et kompakt instrument.
Ved at forbinde en forseglet beholder (indledningsvis ved atmosfærisk tryk på 100 kPa) til en miniature vakuumpumpe og kontinuerligt evakuere den, vil gastrykket inde i den forseglede beholder til sidst falde til under atmosfærisk tryk og nå et absolut tryk på 60 kPa. Gennem særlige teknologiske forbedringer kan der udover enkelt-funktionspumpende miniaturevakuumpumper udvikles dobbelt-pumpe- og evakueringspumper (dvs. udstødningsenden kan generere et relativt stort overtryk), bruges til tryksætning, påfyldning, overvinding af systemmodstand osv. Der er også unikke vand-dualformåls{8}}gaspumper, som kan bruges i situationer, der kræver{10}}langvarig tomgang eller tørkørsel, i modsætning til almindelige vandpumper, som er beskadiget ved tomgang eller tørkørsel.